Борискин ВС. V Всероссийская научно-техническая конференция «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем » — МЭС -2012. ИУС [Интернет]. 16дек.2011 [цитируется по 5май2024];(6):84. Available from: https://i-us.ru/index.php/ius/article/view/14143