- -. III Всероссийская научно-техническая конференция «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем-2008» (МЭС-2008). ИУС [Интернет]. 19окт.2007 [цитируется по 28апр.2024];(5):58. Available from: https://i-us.ru/index.php/ius/article/view/14703