- -. Х Всероссийская научно-техническая конференция «Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем» — МЭС-2021. ИУС [Интернет]. 26апр.2021 [цитируется по 21ноя.2024];(2):72. Available from: https://i-us.ru/index.php/ius/article/view/15002